没有他，你现在还用不上MEMS传感器

MEMS技术使传感器微型化成为可能，在物联网、可穿戴设备、医疗检测、人工智能……等等方面，微型化的传感器都必不可少，难以想象没有MEMS传感器的世界。本文讲述关于MEMS技术奠基人库尔特•彼得森（Kurt Petersen）的传奇，以及MEMS技术的发展历程。

MEMS 技术为传感器打开新大门

一滩墨渍为2019年IEEE荣誉勋章获得者库尔特•彼得森开启了终生研究微型装置（MEMS）的大门。

1975年，库尔特•彼得森（Kurt Petersen）还是一名年轻聪明的研究员，当时他刚拿到麻省理工学院电气工程专业的博士学位，在位于美国加州的IBM阿尔玛登研究中心工作。他是该中心光学研究小组的一员。不过，他时常觉得很无聊，有一天，他漫步于巨大的建筑群中，然后发现了一条普普通通的走廊的油毡瓦上有一大块黑色污渍。就是这滩污渍改变了他的生活和整个行业。

为了找到污渍来源（他也是闲来无事），彼得森走进了最近的实验室。最后他发现，这块污渍是由溢出的墨水形成的。这是一家研发喷墨打印机喷嘴的实验室，研发过程中需要在硅材料上打孔。

在硅材料上打孔？彼得森从未听说过，但他想起了之前看过的一则有关硅基微型加速器的广告。突然间，一个更大的场景浮现在他的脑海中：人们实际上正在制造微型机械配件，各种部件只有几微米，都是用硅材料制成的。今天，我们将这类装置称为微机电系统（MEMS）。彼得森也想制造MEMS。

于是，他开启了全新的职业道路——专攻MEMS技术，包括现在用来扫描美国境内所有邮寄信件以防炭疽病菌的MEMS生物传感器装置，并创建了MEMS企业。正是因为在这方面作出的贡献，彼得森在2019年获得了IEEE荣誉勋章。

来源：悦智网

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