耐高温性能：单晶炉热场附近温度高（尤其上轴、炉盖处）。普通传感器易失效，必须选择高温型（工作温度≥120°C，甚至150°C以上），或采用带耐高温隔离/水冷安装座的方案。

灵敏度与低频响应：单晶炉转速较低（提拉头、籽晶轴通常几十转/分），振动能量集中在低频（几Hz到几百Hz）。需要高灵敏度（如100 mV/g或更高） 的传感器，且低频下限应≤0.5Hz，避免丢失慢速转动引起的振动信号。

安装方式与绝缘：推荐螺柱安装（M5/M6），确保刚性耦合。同时炉体常有电气干扰，需选隔离型传感器（外壳与信号地绝缘），防止地环路引入噪声。

抗干扰能力：单晶炉有加热电源、电机变频器等强电磁干扰源。优先选用4-20mA 或 IEPE/ICP 型（带屏蔽双绞线电缆），并做好屏蔽层单端接地。

环境防护等级：水、油、石墨粉尘可能存在。传感器外壳至少IP67，连接器选耐腐蚀金属材质，出线口密封良好。

测量范围（量程）：正常振动很小（±50g ~ ±100g，既保证正常信号分辨率，又不至于在异常时削波。

关键监测位置与方向：

• 提拉头/旋转机构轴承处：径向（水平）和轴向（垂直）各一只。

• 炉盖顶部（靠近籽晶轴导轮）：重点关注轴向振动。

• 下炉体/坩埚驱动侧：监测旋转提升机构的异常。

• 通常需多通道同步采集，对比分析。

长期稳定性与可靠性：单晶炉连续生产周期长（数周至数月）。传感器应具备低零点漂移、低灵敏度漂移，建议选择压电式（PE）或MEMS型（后者直流响应更好，但高温性能稍弱）。定期（如每半年）用便携式校准器核查。