5月17日消息，据韩国媒体koreaherald报道称，三星电子的半导体设备供应商——Semes的两名前雇员因涉嫌参与窃取技术而被起诉。
据韩国水原地区检察官办公室周二称，这两名 Semes 前员工涉嫌向一家未公开的中国实体出售关键的晶圆清洗机——据信与 Semes 的设备相同。这两名Semes 前员工和 Semes 的供应商的另外两名员工被检察官以违反《防止不正当竞争和商业秘密保护法》的罪名起诉。
据透露，包括两名前 Semes 工程师在内的四名嫌疑人通过将专门提供给三星的Semes设备移交给中国实体，从而获得了 800 亿韩元（6280 万美元）的收入。报道称，该设备被认为是三星尖端半导体芯片技术的关键。
在芯片制造过程的最初阶段，使用清洁设备保持晶圆的清洁至关重要。随着晶圆变得更薄，该工艺需要更复杂的方法。克服技术障碍的方法之一是设备使用超临界流体状态的二氧化碳来清洁晶圆，与使用其他流体（如超纯水）清洁相比，这大幅减少了对晶圆的损坏。
据SEMES官网介绍，其SUPER CRYSTAL系列清洗机是世界第一台超临界设备，采用无倾斜技术（高萃取/高溶解度），具备高通量和稳定性，能够去除19nm的颗粒。△Semes的晶圆清洗机
值得注意的是，早在2021年1月26日，韩国检察院就曾将通过窃取Semes清洗设备图纸，并基于此开发出相关设备出口给中国实体的Semes前半导体设备的制程组长和厂长、以及另一家供应商代表等3名嫌疑人以违反产业技术保护法的的嫌疑进行了拘留和起诉。
一位韩国官员表示：“中国企业尝试收购各种技术，以提高在半导体等落后于其他国家的领域的竞争力。但对于这种窃密行为，必须加强惩罚。”
业内专家表示，没有完美的方法来防止技术泄露，但政府应该更加积极地提高对泄露技术的人的惩罚程度，就像中国台湾地区一样，它制定了一项加强对工业技术泄露的惩罚的法案。
“要求每家公司自己防止这种技术泄密问题并不容易。甚至管理已经离开公司的员工也很难。因此，政府应加强对技术泄漏的法律惩罚，以防万一。”韩国产业经济贸易研究所（KIET）的高级研究员Kim Yang-paeng说到：“由于中国大陆企业试图泄露技术的案例很多，台湾地区已经明确了具体的泄露案例，并加强了刑罚以提高认识。我不知道这是否是正确的做法，但可以期待具有告知人们这种泄漏企图将导致严厉惩罚的效果。”
正如他所提到的，台湾在今年4月修改了安全法，以防止窃取技术的行为，尤其是与半导体相关的技术。根据修订后的法律，犯有泄露工业技术罪的人将被判处最高 12 年和最高 1 亿新台币（336 万美元）的罚款。
相比之下，韩国对工业间谍活动的惩罚力度较轻。根据当地的现行法律，侵犯商业秘密的人最高可被判处三年有期徒刑。
美国国家情报局表示，从 2017 年 1 月到 2022 年 2 月，共发现了 99 起工业技术泄露事件。根据韩国法院的数据显示，2021年的一审中，以违反商业秘密保护法为由起诉的115起案件中，只有13起被判处有期徒刑。此外，根据《防止泄露和保护工业技术法》，还没有一宗被判处有期徒刑的案件。
“从本案中可以看出，技术泄露正变得更加多样化。政府应该加强对工业技术的管理。否则，更多的外国企业可能会聘请三星电子或SK海力士的前工程师来窃取韩国公司的技术。”Kim Yang-paeng补充表示，Semes 是世界上第一家开发该技术的公司，设备已独家供应给三星电子，专门用于存储芯片、处理器芯片等制造业务。
关于Semes
Semes是三星电子旗下的一家半导体设备供应商（三星拥90%以上的Semes的股份），同时也是韩国最大的半导体设备制造商。其目标是到2030年销售额达到5万亿韩元，进入全球TOP5。三星希望通过Semes实现自身在半导体/显示核心设备领域的自主。三星目前也是Semes的主要客户。
Semes的设备研发主要以半导体制程中使用的清洗、蚀刻、涂胶显影等设备为中心，同时覆盖测试&封装、半导体物流自动化设备、OLED显示等领域。
目前，Semes的产品主要包括半导体前道工序领域的清洗（LOTUS、BLUEICE PRIME）、Phototrack（OMEGA-S、OMEGA-K）、蚀刻（Michelan O3、Michelan C4）设备，还有后道工序的Bonder、Probe、Test Handler等设备。
数据显示，Semes在2021年全年的收入为3.12万亿韩元（约人民币162亿元），营业利润为3533亿韩元。这是该公司迄今为止最好的年度业绩。与2020年相比，收入和营业利润也分别增长了41%和24%。其中，晶圆厂设备占Semes的2021年收入的75%，而平板显示设备占比1.7%。2020年，晶圆厂设备占其年收入的61.24%，而平板显示设备占比9.9%。
根据Gartner的数据显示，在2019年的全球半导体清洗设备市场，日本迪恩士（DNS）、日本东京电子（TEL）、韩国SEMES和美国泛林集团（Lam research）分别占据了45.10%、25.30%、14.80%和12.50%的市场。 国内市场方面，按 2019 年中国半导体清洗设备招标采购份额计算，DNS、Lam research、TEL 占比分别为 48%/20%/6%，国内厂商盛美半导体、北方华创、芯源微合计占比 22%。
编辑：芯智讯-浪客剑 资料来源：koreaherald、koreatimes