北京大学:三维微应变片-多功能模块化触觉传感器集成
柔性触觉传感器在人机界面、机器人操作、生物医学等领域发挥着重要作用。然而,它们柔软的外形因素却在与基于晶圆的设备、商业芯片或电路板的集成方面提出了挑战。
近日,为了克服上述挑战,北京大学韩梦迪团队介绍了一套灵活的模块化触觉传感器的制造方法、器件设计、集成策略和生物医,实现了与商业电子的兼容。传感器利用光刻技术制备的金属或合金细线作为传感元件。将这些元件布置在三维空间中,可以精确、无滞后、解耦地测量温度、法向力和剪切力。将这些传感器组装在柔性印刷电路板上,与商业电子产品一起形成各种柔性电子系统,具有皮肤界面无线测量、生物力学信号连续监测和触觉信息空间映射的能力。灵活的模块化触觉传感器扩展了微电子和宏观电子的功能组件组合。
来源:传感器专家网
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