面向国家重点领域的关键需求，一些极端环境下温度、应变等信息的原位实时测量，是实现高端武器装备、高性能发动机在极端环境下安全运行的重要监测手段，对提升我国国防实力和国家核心竞争力意义重大。在实际应用中需要强调几个重要的参数，如灵敏度、响应速率、稳定性、量程、小型化和多功能化等。目前已成功商业化的高温应变传感器中，金属应变片由于其抗腐蚀和抗氧化性能较差导致传感器的寿命和稳定性不能满足需求；光纤布拉格光栅应变传感器存在量程小、信号解耦复杂等缺点；SiC电容式应变计可以在腐蚀性环境中较好地工作，但其最高工作温度和应变范围有限，这些不足限制了其在极端环境中的进一步应用。因此，研究能够在高温极端环境下能够同时实现温度和应变测量的小型化传感器充满了挑战。

聚合物先驱体陶瓷 (PDCs) 具有优异的高温半导体特性、压阻效应、抗氧化和耐腐蚀性能，在微机电系统 (MEMS)、微传感器、涂层等领域得到了广泛的应用。同时，基于液态的聚合物前驱体，可以简单、经济地制备具有复杂结构的PDCs。因此，PDCs可能是制造具有优异性能的高温极端环境应变传感器的有力候选者。本文中利用聚合物先驱体SiCN陶瓷制备了多功能、小型化、宽量程的温度应变一体化传感器，利用特殊的结构设计成功解决了温漂效应，实现了高温极端环境下同时对温度和应变的精准测量。

来源：传感器专家网