830-100气密封装三轴静态响应加速度传感器是一款高精度、低噪声的三轴加速度传感器，其可以同 步测量三个相互垂直轴向上的加速度和低频振动。其特点是采用了 变容式MEMS硅晶片为敏感元件，该敏感元件由一个很小的惯性质 量块和一个挠性元件组成，该挠性元件位于两块极板之间。随着质 量块在加速度作用下发生偏移，极板之间的电容也会发生变化；包 含了交流激励和同步调制解调电路的加速度传感器内部信号调节 器，同时输出与应用加速度成比例的模拟电压信号，单端信号输出 值为2.5V±2V, 由单端稳压电源提供8到36Vdc的供电。此产品在操 作温度范围内配置温度补偿电路以获得更好的温度响应特性。敏感 元件和电子组件一起封装在小型轻巧，焊接密封的不锈钢外壳中， 信号地与测试对象绝缘隔离。配套23-L连接线缆可供选用。830-100气密封装三轴静态响应加速度传感器的安装可以通过粘合剂安装也可以用M3的公制螺丝安装。 此产品广泛应用于需要精确测量的研发项目，产品封装也适合在严 苛的环境使用，性能长期稳定。