型号
813-200
系列
813
特点/应用
• 静态响应
• 汽车路面测试
• 2 to 200g 量程
• 高速列车
• 惯性运动、低频和倾角
• 磁悬浮动态位移
• 5K g 抗冲击
• 悬挂系统监控
• 温度补偿
• 飞行测试
• 静态加速度
• 传送测试
813-200变容式MEMS加速度传感器是一款用来测量静态加速度和低频振动的高灵敏 度变容式加速度传感器，其特点是采用变容式MEMS硅晶片为敏 感元件，该敏感元件由一个很小的惯性质量块和一个挠性元件 组成，该挠性元件位于两块极板之间。随着质量块在加速度作 用下发生偏转，这些极板之间的电容也会发生变化；包含了交 流激励和同步调制解调电路的加速度传感器内部信号调节器输 出与应用加速度成正比的模拟输出信号，单端信号输出值为 2.5±2V, 由单端稳压电源提供5.5~30Vdc的供电。敏感元件和电 路组件一起封装在小型轻巧，线缆一体输出的氧化铝外壳中， 信号地与测试对象绝缘隔离。813-200变容式MEMS加速度传感器的安装可以通过 粘合剂安装也可以用M3的公制螺丝安装。此产品广泛应用于需 要精确测量的研发领域，同时产品封装也适合在严苛的环境中 使用。
| 加速度量程(g) | 200 |
| 速度量程(in/s) | 0 |
| 灵敏度 ( ±10%) | 10 |
| 频响范围(Hz) | 0 - 1000 |
| 重量 (克) | 6 |
| 冲击极限 | 5000 |
| 温度范围（°C） | -40 to 85 |
| 输出形式 | 放大电压 |
| 轴数 | 单轴 |
| 安装方式 | 粘接/螺丝 |
| 温度信号 | 无 |
| 传感类型 | MEMS变电容型 |
| 灵敏度单位 | mV/g |
| 供电方式 | 5.5 - 30 VDC |
| 配置电缆 | N/A |