微差压MEMS压力传感器应用?

微差压传感器广泛应用于中央空调系统、智能家居、呼吸机、净化室设备、汽车油箱等需要实时监测十分微小压强差变化的场景,在家电、医疗、工业、汽车等领域应用前景广阔。由于1kPa至10kPa量程的微差压传感器的灵敏度很高,需要在制造中精确控制厚度非常薄的压力敏感膜片,加工过程中对成品率和一致性的控制难度远超一般量程的压力传感器。