传感器精度是决定自动化设备测量精度与控制效果的主要因素，线性精度、重复性精度、分辨率是标示位移传感器精度的主要参数。 线性精度（或者非线性精度），是衡量传感器测量值与实际位移量之间最大偏差的参数，以绝对误差占传感器有效量程的百分比标示。