MEMS振动传感器中的残留噪声是什么意思?

残留噪声是指MEMS振动传感器在测量振动信号时,除了实际振动信号外,还存在一些由传感器本身或者环境因素引起的噪声。这些噪声可能来自传感器内部的电子器件、传输线及屏蔽状况等,也可能与环境温度、器件布局等因素有关。残留噪声的表现类型通常为随机噪声,它会影响传感器的测量精度,需要在设计和使用过程中加以考虑和减小。