常见问题
当前大多数的电容式加速度传感器都是由三部分硅晶体圆片构成的,中层是由双层的SOI硅片制成的活动电容极板。 中间的活动电容极板是由八个弯曲弹性连接梁所支撑,夹在上下层两块固定的电容极板之间。提高精度很重要的一项措施就是采用差动测量方式,极大地提高了信噪比。因此,电容式MEMS加速度传感器几乎全部采用差动结构。
有关电涡流传感器精度、线性度等几个基本概念   在谈精度、线性度之前,先谈谈几个误差的概念:   1.误差:实测值与理想值之差;   2.相对误差:被测点的误差与被测点的理想值之比;   3.引用误差:被测点的误差与基准值(量程)之比;   4.基本误差:在标准条件下,基准值(量程)范围内的引用误差;   5.线性误差:实测曲线与理想直线之间的偏差;   精度:由传感器的基本误差极限和影响量(如温度变化、湿度变化、电源波动、频率改变等)引起的改变量极限确定。   线性度:线性度 概念:测试系统的输出与输入系统能否像理想系统那样保持正常值比例关系(线性关系)的一种度量。   线性范围:传感器在线性工作时的可测量范围。
IEPE &电荷型 – 优缺点比较 IEPE: 优点 • 线缆的选择范围宽 • 灵敏度收外界影响小 • 采集器可直接供电
影响传感器零点温漂的主要工艺原因: ①在贴片加压力值过大或加压力不均匀,加压力过大或不均匀会造成传感器零点输出偏大,胶层厚度不一致会导致传感器零点温漂值偏大; ②传感器在组桥时桥路的不对称,也就是说传感器各桥路中使用的导线长度不一致,各种导线在温度场下的电阻阻值变化会导致零点温漂值大; ③温漂测试系统误差带来的传感器温漂值过大; ④补偿操作时焊接方法、焊接质量的影响。
输入电压为零而输出电压不为零且缓慢变化的现象,为零点漂移现象。 由温度变化所引起的半导体器件参数的变化是产生零点漂移现象为温漂。
压电式振动传感器是试验机振动测试常用的传感器之一。相应标准提出了振动加速度测量传感器改装要求,但是往往因为对其中的概念理解不透,造成一些不合理的安装方式,在一定程度上影响了测试精度。 要正确理解和贯彻标准要求,必须了解有关背景知识,如传感器的测试原理、构造和基本特性等方面。 一些介质在沿一定方向上施加机械压力而产生变形时,其内部会产生极化现象,同时其表面产生电荷,当外力去掉以后,材料内部的电场和表面电荷也随之消失,这种特性称为压电效应。压电式振动传感器是利用这一特性,把基体感受到的机械振动转化为电能量输出。
压阻加速度传感器是一种实用性较强的传感器,它通常可被分成导航仪器和系统反馈两种,它们用于控制加速度的信号反馈以及检测导航仪器的加速度。现如今,在工业领域中,压阻加速度传感器的应用是非常多的。
a.可提高信噪比。在同一个芯片上进行信号传输前可放大信号以提高信号水平,减小干扰和传输的噪声,特别是同一芯片上进行A/D转换时,更能改善信噪比。 b.可改善传感器悸性能。因这种传感器集成了敏感元件、放大电路和补偿电路(如微型压力传感器)在同一芯片上在实现传感探测的同时具有信号处理的功能(在同一芯片上的反馈电路可改善输出钽电容的线性度和频响特性):因为集成了补偿电路,可降低由温度或由应变等因素引起的误差;在同一芯片上的电压式电流源可提供自动的或周期性的自校准和自诊断。
压电式加速度传感器, 压阻式一般有毫伏输出型mV和伏值输出V两种;而压电式加速度传感器一般有电荷输出型PE和低阻抗电压输出型(IEPE)和电流输出(4~20mA);电容式加速度传感器一般有毫伏输出型mV和伏值输出V两种;这里重点介绍一下压电式加速度传感器电荷输出型(PE)和低阻抗电压输出型(IEPE)。
本安型设备和其相关联的设备的本质安全部分一般分为ia和ib。ia代表该设备正常工作+一个故障产生+任意组合的两个故障均不能引起点燃的电气设备。Ib表示该设备正常工作+一个故障条件下还未能引起点燃效果的本质安全型设备。
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